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智能化熱敏風向風速記錄儀的結(jié)構(gòu)介紹

風向風速記錄儀的最主要設備是風向風速傳感器，傳感器的精確度直接影響著測定結(jié)果的精確性。風速風向記錄儀是記錄儀中的一種，用于測定風向風速，風向風速是氣象檢測中不可或缺的兩個因子，因此風速風向記錄儀在氣象監(jiān)測以及農(nóng)業(yè)環(huán)境檢測中，具有很大的應用性。

風速風向傳感器種類有采用畢托管測風速、熱線熱膜測風速、機械式傳感器測風速、超聲波測風速和三杯式風速傳感器測風速,其中,由于熱線熱膜法不但可以測風速和風向,而且具有體積小重量輕、低價位和精確度高等優(yōu)點,是未來風速風向傳感器的發(fā)展方向。由于熱線熱膜的熱靈敏度很高,如果只采用4只相互垂直熱阻熱膜,從單只電阻上獲取信號電壓,測量值受環(huán)境溫度和方位角影響較大。為了降低環(huán)境溫度和方位角影響,由8條熱敏絲電阻(后稱熱差電阻),每條中點在空間位置相互間隔450°角,分成4組,圍成圓形,克服環(huán)境溫度和不同風向產(chǎn)生的測量誤差。

為了減少風向?qū)�測量值的影響,提高風速風向測量的準確性。提出二維熱差式風速風向傳感器,它是一種基于MEMS工藝熱流量傳感器,利用恒功率方式,根據(jù)熱溫差理論測量風速和風向。其傳感器芯片的加熱與測溫電阻都采用圓形4組對稱結(jié)構(gòu),從而提高風速和風向測量的精度。該傳感器在玻璃襯底上利用兩步金屬剝離工藝加工而成芯片,傳感器芯片結(jié)構(gòu)。